采购单位：同济大学

项目名称：同济大学化学科学与工程学院纳米团簇沉积装置采购项目

采购编号：CZB2016078

采购预算：人民币37万元

公示日期：2016-12-06至2016-12-12

采购内容：委托加工厂商根据设计图纸加工纳米团簇沉积装置壹套

供应商：上海实路真空技术工程有限公司（地址：宝山区城银路318号5幢三楼）

单一来源采购理由：唯一供应商

单一来源采购理由说明：拟购纳米团簇沉积装置因技术复杂，仅适用于前沿科学研究，目前市场上无商业化产品，故采用自行设计委托公司加工的方案。其技术性能要求如下：

（1）沉积室金属焊接处能承受巨大的压差；

（2）腔体内置密封不锈钢杜瓦，既能承受高真空，又得保证镀膜区温度在通液氮时可冷却至-180度以下；

（3）整体的进气流量控制及真空体系设计要能够在腔体产生10-5torr的稳定可控的气压，任何状况下杂质气体（材料挥发的背景气体及密封漏气）小于10-9torr，对真空度要求极高；

（4）配备精确控温的加热器，要求加热温度不低于400摄氏度，设计温度为600摄氏度，5个样品架同时加热，加热梯度精确到1摄氏度左右；

（5）对核心部件SKIMMER的要求严格，SKIMMER锥形结构的最大外径要大过绝缘套，在沉积室端的长度要超过绝缘套；SKIMMER方便拆卸，可调距离范围精度到15mm；

（6）配一套1300L的德国莱宝分子泵及TRP-90机械泵，带KF40智能电磁压差阀与机械泵联动，配全套的抽真空管及阀门；

由于拟加工的纳米团簇沉积装置涉及真空、电子和超低温等不常见技术，且各方面对工艺要求十分严格，承接公司除了要同时具备以上技术外，其技术人员也要有足够专业素养来理解设计方案的基本原理和功能。上海实路真空技术工程有限公司无论是从技术能力，还是从对项目的理解以及技术支持和运行服务方面，都具有绝对优势保障该项目按时完成。鉴于该项目的专业性极强，结合工期及预算等多方面因素，兹拟采用单一来源采购方式委托上海实路真空技术工程有限公司承接该项目。

任何供应商、单位或个人如对此单一来源采购方式有异议，可在本公示期内以书面形式向采购单位提出，逾期将不再受理。

采购单位：同济大学

地址：上海市四平路1239号同济大学行政南楼316室

联系人： 郑苏

联系电话：021-65982323

电子邮箱：caizhaoban@tongji.edu.cn