同济大学薄膜生长及刻蚀多功能仪招标项目国际招标公告
索取号:G0031002005-2016-0079    
上海国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2016-06-12在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:薄膜生长及刻蚀多功能仪 1套资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实项目已具备招标条件的说明:本次招标所需的资金来源已经落实 招标文件已完善,已具备招标条件2、招标内容招标项目编号:0705-164016316201招标项目名称:同济大学薄膜生长及刻蚀多功能仪招标项目项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):

序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 薄膜生长及刻蚀多功能仪 1 ★1、16.5" CF 集群法兰,不少于5个靶枪(位于腔体底部,面朝上),靶枪尺寸为2英寸,均为强磁性靶枪,可在最大4寸样品上实现超高均匀性的镀膜。靶枪共焦设计,可以共溅射,可在平衡,非平衡和磁性材料模式下工作,确保超高镀膜均匀性。每个溅射源都可以进行独立的均匀性微调。所有靶枪均需采用稀土磁铁,磁铁置于冷却水路之外,便于靶枪的维护和清洁。所有靶枪可以承受200摄氏度的高温和10-11Torr的真空。后续能升级到至少8个磁控溅射源。★2、设备沉积均匀性:优于+/- 1.5% @直径4" 晶圆;★ 3、样品台可在氧气气氛中加热,加热温度最高可达850摄氏度,控温精度±1摄氏度,SHQ-15A PID控制器,带TC输入,过温保护,+/- 1 ℃控温精度;★ 4、样品台可以施加射频偏压100w实现反溅射功能。厂家应提供相应的100 Watt射频电源、自动匹配网络器和电缆一套。★6、预真空室有双视窗,含6个可传送基片载具。样品可以在真空环境中,快速方便从预真空室传递到主沉积反应腔室。预真空室应可以同时放置6个样品,并可在真空中快速实现样品之间的更换,传递到主沉积反应腔室中。 本项目预算:人民币 195万

3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:

1)必须是具有独立法人资格的法人或其他组织,并具有相应的经营范围;

 2)投标人须为投标设备的制造商或投标设备制造商授权的代理商(代理商必须提供制造商关于本项目包件的唯一授权书);

3)投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台(以下简称招标网,网址为:http://www.chinabidding.com)上完成有效注册。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

4、招标文件的获取招标文件领购开始时间:2016-06-12招标文件领购结束时间:2016-06-17获取招标文件方式:现场领购招标文件领购地点:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼招标文件售价:¥300/$50

5、投标文件的递交投标截止时间(开标时间):2016-07-05 09:00投标文件送达地点:同济大学采购与招标管理办公室(四平路1239号行政楼3楼采购与招标管理办公室会议室)开标地点:同济大学采购与招标管理办公室(四平路1239号行政楼3楼采购与招标管理办公室会议室)

6、投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册。评标结果将在中国国际招标网公示。

7、联系方式招标人:同济大学地址:四平路1239号

联系人:丘学鹏

联系方式:86-21-65980367

招标代理机构:上海国际招标有限公司

地址:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

联系人:阮相儒、徐迪

联系方式:86-21-62791919×199、120

8、汇款方式:招标代理机构

开户银行(人民币):招商银行上海分行曹家渡支行

招标代理机构开户银行(美元):PING AN BANK CO., LTD

账号(人民币):215080920510001

账号(美元):11008342781394

其他:邮箱:ruanxiangru@shabidding.com